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 I-Wafer型全自动晶圆超声波缺陷检测系统 当前位置:首页>产品展示  
 


产品介绍:

名称:超声波扫描显微镜

型号:I-Wafer

产地:德国

应用: 晶圆内部裂缝或杂质无损检测。

 

应用:


 

i-Wafer系列是一款高端仪器,操作人员可选择接收/拒绝标准,手动或自动检测晶圆。在KSI i-Wafer的探测下,晶圆中的孔隙、分层或者杂质都能被发现。尺寸在450mm的多种晶圆也能进行检测。

 

 

主要参数:


  • 新型 i-Wafer晶圆缺陷检测系统的主要特点:
    -
    扫描速度最高达2000mm/s
    -
    新型换能器

    -
    高质画面
    -
    同时使用1只、2只、4只换能器提高效能
    -
    能发现只有几微米的缺陷
    -
    能检测200mm300mm450mm的晶圆
    -
    频率范围从10MHz550MHz
    -
    最大放大倍数:625

    -
    通过不同的扫描模式灵活应用
    -
    使用Windows 7 GUI就可简单操作
    - KSI
    可视软件
    -
    根据用户需要加以应用
    -
    高性价比

 

咨询或索取详细产品资料,请联系ANALYSIS(安赛斯)工作人员。

 
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