产品介绍:
名称:超声波扫描显微镜
型号:I-Wafer
产地:德国
应用: 晶圆内部裂缝或杂质无损检测。
应用:
i-Wafer系列是一款高端仪器,操作人员可选择接收/拒绝标准,手动或自动检测晶圆。在KSI i-Wafer的探测下,晶圆中的孔隙、分层或者杂质都能被发现。尺寸在450mm的多种晶圆也能进行检测。
主要参数:
- 新型 i-Wafer晶圆缺陷检测系统的主要特点:
- 扫描速度最高达2000mm/s - 新型换能器 - 高质画面 - 同时使用1只、2只、4只换能器提高效能 - 能发现只有几微米的缺陷 - 能检测200mm、300mm和450mm的晶圆 - 频率范围从10MHz到550MHz - 最大放大倍数:625倍 - 通过不同的扫描模式灵活应用 - 使用Windows 7 GUI就可简单操作 - KSI 可视软件 - 根据用户需要加以应用 - 高性价比
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