
产品介绍:
名 称:安赛斯可编程匀胶机HC150PE
型 号:HC150PE
应 用:在高速旋转的基片上,滴注各类胶液,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上,厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同,也和旋转速度及时间有关。
产品概述:
安赛斯小巧型匀胶机被设计为涂胶处理小碎片至6英寸圆晶尺寸底物,使用工业级直流马达和单片机控制,触摸屏控制,人机界面。 该匀胶机结构紧凑、简单易用,可编程实现单步旋涂和多步程控操作,尺寸小巧,易于放入手套箱内操作。采用不锈钢外壳,美观耐腐蚀,HDPE高分子材料耐腐蚀内腔,经久耐用。
性能参数:
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适用晶元尺寸范围:Ø 5~150mm;
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旋涂速度:100~12000rpm;转速分辨率:1rpm;
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旋涂加速度:100-30000rpm/s;
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最大旋涂时间:3000s;旋涂时间精度:0.1s;
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内腔直径212mm,内腔采用独特的凹面防溅设计;
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具备单步快速旋涂和多步编程旋涂,可编程100组程序,每组程序10步;
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电源输入:AC200-230
产品特点:
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设计紧凑,可轻松放置在手套箱内使用;
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HDPE高分子材料旋涂内腔,耐腐蚀;采用分体式结构,易清洁和移动;
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4.3英寸彩色触屏控制,易学易用;精确设置实验参数,运行状态实时显示;
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经CNC一体加工成型的HDPE内腔,内腔壁采用独特的凹面设计,有效防溅;
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采用高级PLC程序控制,可编程,实现快速旋涂和多步编程旋涂;
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具有电机进胶保护功能;管路易疏通设计;具有真空不足提示及保护功能,具有断电后参数自动保存功能。
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可设置用户密码保护功能;
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不锈钢外壳,美观耐腐蚀。
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带真空度安全互锁检测功能;带一路自动点胶接口,可升级自动点胶系统;
HDPE高分子耐腐蚀内腔

不同尺寸的载物盘
产品外型尺寸: 310mm(D)*254mm(W)*250mm(H)
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