
产品介绍:
名称:可编程匀胶机
型号:HC150PE
应用: HC150PE可编程匀胶机是在HC150SE的基础上,增加一路自动点胶系统,满足小批量实验制样的需求。被设计为涂胶处理基片尺寸为Ø5mm~150mm(6英寸)或对应的方片,使用工业级直流马达和PLC控制,4.3英寸全彩触屏人机界面操作,简单易用。
产品概述:
匀胶机(旋涂仪)制膜的原理:在高速旋转的基片上,滴注各类胶液,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上,厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同,也和旋转速度及时间有关。可用于微电子、半导体、新能源、生物材料、纳米材料等领域高质量薄膜涂层的制备。
HC150PE可编程匀胶机,被设计为涂胶处理基片尺寸为Ø5mm~150mm或对应的方片,使用工业级直流马达和PLC控制,4.3英寸全彩触屏人机界面操作,简单易用。该型号匀胶机在材料、化学或生物等实验室被广泛用于薄膜制备,纳米薄膜研究等相关领域。
HC150PE匀胶机设计标准为结构紧凑、简单易用,程控操作,尺寸上可从通用的手套箱过渡舱内进出,具有优异的性价比。亦可提供分体式设计,进行嵌入式安装,与手套箱进行配合。
产品特点:
● 设计紧凑,可轻松放置在手套箱内使用;
● HDPE高分子材料旋涂内腔,耐腐蚀;采用分体式结构,易清洁和移动;
● 4.3英寸彩色触屏控制,易学易用;可精确设置实验参数,运行状态实时显示; 采用高级PLC程序控制,旋涂速度、旋涂时间、加速度等工艺参数可编程,实现快速旋涂和多步编程旋涂;
● 具有电机进胶保护功能;管路易疏通结构设计;
● 转速、加速度、时间、真空泵关/停、自动吸片、自动释放均可在触屏上操作。
● 可设置用户密码保护功能; 带真空检测安全互锁,当系统真空度不足时,设备提示错误并停止运行,防止飞片,此功能可在“设置”中关闭;
● 带一路自动点胶系统;
技术参数:
● 适用晶元尺寸范围:Ø 5~150mm;
● 旋涂速度:100~12000rpm;转速分辨率:1rpm;
● 旋涂加速度:100-30000rpm/s;
● 最大旋涂时间:3000s;旋涂时间精度:0.1s;
● 内腔直径212mm,内腔采用独特的凹面防溅设计;
● 具备单步快速旋涂和多步编程旋涂,可编程100组程序,每组程序10步;
● 电源输入:AC200-230V
自动点胶系统参数:
● 流量范围:0.006-1340毫升/分钟;
● 流量精度误差:<0.5%;
● 转速范围:0.1~350(转/分钟);
● 转速分辨率:0.1(转/分钟);
● 电源电压:AC 220V±10%,50Hz/60Hz(标配);
● 功 率:小于40W;
● 外控接口:外控输入电平5V、12V(标配)、24V(选配);
● 外控数字通讯接口:RS485通讯,支持MODBUS协议;
● 环境温度:0 ~ 40℃
;
● 相对湿度:<80%;
● 防护等级:IP31;
● 机箱尺寸:(长×宽×高)255mm×181mm×198mm;
● 重 量:4.7KG。
产品附图:
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