
产品介绍:
名称:小巧型可编程匀胶机
型号:HC120SE
应用: HC120SE小巧型可编程匀胶机,被设计为涂胶处理基片尺寸为Ø5mm~120mm或对应的方片,使用工业级直流马达和PLC控制,4.3英寸全彩触屏人机界面操作,简单易用。
产品概述:
匀胶机(旋涂仪)制膜的原理:在高速旋转的基片上,滴注各类胶液,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上,厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同,也和旋转速度及时间有关。可用于微电子、半导体、新能源、生物材料、纳米材料等领域高质量薄膜涂层的制备。
HC120SE可编程匀胶机,被设计为涂胶处理基片尺寸为Ø5mm~120mm或对应的方片,使用工业级直流马达和PLC控制,4.3英寸全彩触屏人机界面操作,简单易用。该型号匀胶机在材料、化学或生物等实验室被广泛用于薄膜制备,纳米薄膜研究等相关领域。
HC120SE小巧型匀胶机设计标准为结构紧凑、简单易用,程控操作,尺寸上可从通用的手套箱过渡舱内进出,具有优异的性价比。亦可提供分体式设计,进行嵌入式安装,与手套箱进行配合。
产品特点:
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设计紧凑,可轻松放置在手套箱内使用;
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316不锈钢材料旋涂内腔,耐腐蚀;采用分体式结构,易清洁和移动;
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4.3英寸彩色触屏控制,易学易用;可精确设置实验参数,运行状态实时显示;
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采用高级PLC程序控制,旋涂速度、旋涂时间、加速度等工艺参数可编程,实现快速旋涂和多步编程旋涂;
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具有电机进胶保护功能;管路易疏通结构设计;
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转速、加速度、时间、真空泵关/停、自动吸片、自动释放均可在触屏上操作。
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可设置用户密码保护功能;
技术参数:
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适用晶元尺寸范围:Ø 5~120mm;
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旋涂速度:100~12000rpm;转速分辨率:1rpm;
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旋涂加速度:100-30000rpm/s;
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最大旋涂时间:3000s;旋涂时间精度:0.1s;
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内腔直径200mm,内腔采用独特的凹面防溅设计;
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具备单步快速旋涂和多步编程旋涂,可编程10组程序,每组程序10步;
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电源输入:AC200-230V
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