超声波扫描显微镜有两种工作模式,分别是反射和透射。这里着重 介绍安赛斯(中国)有限公司www.analysis-tech.com透射工作模式。在透射模式下需要两个换能器才能工作,一个用于发射超声波,位于样品的上方;一个用于接收透过样品的超声波,固定于样品的底部。透 射工作模式用于样品内部分层缺陷的快速简易筛选,主要是针对一些大企业或工厂,有大量产品需要筛检的场合。超声波扫描显微镜的透射工作模式原理,如图如 示:
透射模式无法确定被测材料内部缺陷的深度位置,但可以比反射扫描模式更快捷,方便的判断被测器件内部是否有缺陷,因此被许多半导体封装企业在筛选产品时所广泛应用。。 |