匀胶机/旋涂仪有很多种称谓，英文叫Spin Coater或者Spin Processor，又称甩胶机、匀胶台、旋转涂胶机、旋转涂膜机、旋转涂层机、旋转涂布机、旋转薄膜机、旋转涂覆仪、旋转涂膜仪、匀膜机，总的来说，他们原理都是一样的，既在高速旋转的基片上，滴注各类胶液，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上，厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同，也和旋转速度及时间有关。

匀胶机尽管是一款原理比较简单的实验室小型仪器，但影响匀胶效果的却有匀胶速度（speed）、匀胶时间（time）、匀胶加速度（acceleration）、控制精度（accuracy）等因素。其中最重要的就是控制精度（accuracy），没有控制精度，其他的设置都是虚无。这也是某些品牌匀胶机最致命的问题所在。

安赛斯（中国）有限公司提供的HC系列匀胶机，采用进口电机及触屏控制系统，实现对转速、时间和加速度的精确控制，转速调节精度<1rpm，重复性< 1rpm，实现匀胶过程的高精度和高重复性。

最新升级的HC系列匀胶机有HC150PE，HC160PE，HC220PE等多个型号，满足不同尺寸晶元的匀胶需求。

原文地址：匀胶机/旋涂仪是什么设备？ (analysis-tech.com)