匀胶机旋涂仪有很多种称谓，英文叫SpinProcessor或者SpinCoater，又称甩胶机、匀胶台、旋转涂胶机、旋转涂膜机、旋转涂层机、旋转涂布机、旋转薄膜机、旋转涂覆仪、旋转涂膜仪、匀膜机，总的来说，他们原理都是一样的，既在高速旋转的基片上，滴注各类胶液，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上，厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同，也和旋转速度及时间有关。

如何选购合适的匀胶机 针对目前匀胶机市场品牌众多的情况，综合多年从事匀胶机技术研究的实际经验。为帮助广大用户提高辨别能力，提供了直观明确的选择标准。从其原理来说，我们可以看出选购匀胶机需要注意的几个细节：

1、真空吸附系统的构造

 真空泵一定要无油的，压力标定准确，比如安赛斯HCV300无油真空泵。因为任何的油污都可能堵塞真空管道，如果真空吸附力降低，会导致基片吸附不住而产生的情况，还会让滴胶液不慎进入真空管道系统造成完全堵塞。用过匀胶机的客户常常会关心怎么清洗的问题，安赛斯可编程匀胶机这一点做得不错，他们有通过联动机制，带真空安全检测，如果真空吸附力不够的时候，不会开始旋转，并跳出提示。

2、旋转速度

转速的快慢和控制精度直接关系到旋涂层的厚度控制和膜层均匀性。如果标示的转速和电机的实际转速如果误差很大，对于要求精密涂覆的科研人员来说是无法获得准确的实验数据的。某些匀胶机只能提供转速范围，并不能精确标定实时的转速，严格来讲，这些产品都是不合格的。

3、材质的选择

作为匀胶机旋涂仪这样的设备，经常与光刻胶等有机溶剂接触，需要旋涂内腔具有良好的耐腐蚀性，化学性质稳定，易清洁。知名匀胶机品牌制造商如安赛斯（中国）有限公司均采用天然聚丙烯或者聚四氟乙烯(特氟隆)、高密度聚乙烯（HDPE）材质。这些材质具备重量轻、耐腐蚀、抗冲击性能好、坚固耐用、光泽度好等优点。在选购匀胶机的同时，一定要注意品牌和质量，价格其次，客户在购买时要慎重考虑。

                    高分子耐腐蚀易清洁旋涂内腔HC220PE

原文地址：选购匀胶机/旋涂仪应该注意的几个细节 (analysis-tech.com)